ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಮೆಷಿನ್ ಮಾಸ್ಕ್ ಅಲೈನರ್ ಫೋಟೋ-ಎಚಿಂಗ್ ಮೆಷಿನ್

ನಿರ್ದಿಷ್ಟತೆ

1. ಮಾನ್ಯತೆ ಪ್ರದೇಶ: 110mm × 110mm;
2. ★ ಎಕ್ಸ್ಪೋಸರ್ ತರಂಗಾಂತರ: 365nm;
3. ರೆಸಲ್ಯೂಶನ್: ≤ 1m;
4. ಜೋಡಣೆ ನಿಖರತೆ: 0.8m;
5.ಅಲೈನ್ಮೆಂಟ್ ಸಿಸ್ಟಮ್ನ ಸ್ಕ್ಯಾನಿಂಗ್ ಟೇಬಲ್ನ ಚಲನೆಯ ವ್ಯಾಪ್ತಿಯು ಕನಿಷ್ಟ ಭೇಟಿಯಾಗಬೇಕು: Y: 10mm;
6. ಜೋಡಣೆ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯ ಎಡ ಮತ್ತು ಬಲ ಬೆಳಕಿನ ಟ್ಯೂಬ್ಗಳು X, y ಮತ್ತು Z ದಿಕ್ಕುಗಳಲ್ಲಿ ಪ್ರತ್ಯೇಕವಾಗಿ ಚಲಿಸಬಹುದು, X ದಿಕ್ಕಿನಲ್ಲಿ: ± 5mm, Y ದಿಕ್ಕಿನಲ್ಲಿ: ± 5mm ಮತ್ತು Z ದಿಕ್ಕಿನಲ್ಲಿ: ± 5mm;
7. ಮಾಸ್ಕ್ ಗಾತ್ರ: 2.5 ಇಂಚುಗಳು, 3 ಇಂಚುಗಳು, 4 ಇಂಚುಗಳು, 5 ಇಂಚುಗಳು;
8. ಮಾದರಿ ಗಾತ್ರ: ತುಣುಕು, 2 ", 3", 4 ";
9. ★ ಮಾದರಿ ದಪ್ಪಕ್ಕೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ: 0.5-6mm, ಮತ್ತು 20mm ಮಾದರಿ ತುಣುಕುಗಳನ್ನು ಬೆಂಬಲಿಸಬಹುದು (ಕಸ್ಟಮೈಸ್);
10. ಎಕ್ಸ್‌ಪೋಸರ್ ಮೋಡ್: ಸಮಯ (ಕೌಂಟ್‌ಡೌನ್ ಮೋಡ್);
11. ಬೆಳಕಿನ ಏಕರೂಪತೆ ಇಲ್ಲ: ＜ 2.5%;
12. ಡ್ಯುಯಲ್ ಫೀಲ್ಡ್ CCD ಜೋಡಣೆ ಸೂಕ್ಷ್ಮದರ್ಶಕ: ಜೂಮ್ ಲೆನ್ಸ್ (1-5 ಬಾರಿ) + ಸೂಕ್ಷ್ಮದರ್ಶಕ ವಸ್ತುನಿಷ್ಠ ಲೆನ್ಸ್;
13. ಮಾದರಿಗೆ ಸಂಬಂಧಿಸಿದಂತೆ ಮುಖವಾಡದ ಚಲನೆಯ ಸ್ಟ್ರೋಕ್ ಕನಿಷ್ಠ ಪೂರೈಸಬೇಕು: X: 5mm; ವೈ: 5 ಮಿಮೀ; : 6º;
14. ★ ಮಾನ್ಯತೆ ಶಕ್ತಿ ಸಾಂದ್ರತೆ: > 30MW / cm2,
15. ★ ಜೋಡಣೆ ಸ್ಥಾನ ಮತ್ತು ಮಾನ್ಯತೆ ಸ್ಥಾನವು ಎರಡು ನಿಲ್ದಾಣಗಳಲ್ಲಿ ಕೆಲಸ ಮಾಡುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಎರಡು ನಿಲ್ದಾಣದ ಸರ್ವೋ ಮೋಟಾರ್ ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತವಾಗಿ ಸ್ವಿಚ್ ಆಗುತ್ತದೆ;
16. ಸಂಪರ್ಕದ ಒತ್ತಡವನ್ನು ಲೆವೆಲಿಂಗ್ ಮಾಡುವುದು ಸಂವೇದಕದ ಮೂಲಕ ಪುನರಾವರ್ತಿತತೆಯನ್ನು ಖಾತ್ರಿಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ;
17. ★ ಜೋಡಣೆ ಅಂತರ ಮತ್ತು ಮಾನ್ಯತೆ ಅಂತರವನ್ನು ಡಿಜಿಟಲ್ ಆಗಿ ಹೊಂದಿಸಬಹುದು;
18. ★ ಇದು ನ್ಯಾನೋ ಇಂಪ್ರಿಂಟ್ ಇಂಟರ್ಫೇಸ್ ಮತ್ತು ಸಾಮೀಪ್ಯ ಇಂಟರ್ಫೇಸ್ ಅನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ;
19. ★ ಟಚ್ ಸ್ಕ್ರೀನ್ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆ;
20. ಒಟ್ಟಾರೆ ಆಯಾಮ: ಸುಮಾರು 1400mm (ಉದ್ದ) 900mm (ಅಗಲ) 1500mm (ಎತ್ತರ).