ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಮೆಷಿನ್ ಮಾಸ್ಕ್ ಅಲೈನರ್ ಫೋಟೋ-ಎಚಿಂಗ್ ಮೆಷಿನ್

ನಿರ್ದಿಷ್ಟತೆ

1. ಎಕ್ಸ್‌ಪೋಸರ್ ಪ್ರದೇಶ: 110mm × 110mm;
2. ★ ಎಕ್ಸ್‌ಪೋಸರ್ ತರಂಗಾಂತರ: 365nm;
3. ರೆಸಲ್ಯೂಶನ್: ≤ 1ಮೀ;
4. ಜೋಡಣೆ ನಿಖರತೆ: 0.8ಮೀ;
5. ಜೋಡಣೆ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯ ಸ್ಕ್ಯಾನಿಂಗ್ ಟೇಬಲ್‌ನ ಚಲನೆಯ ವ್ಯಾಪ್ತಿಯು ಕನಿಷ್ಠ ಈ ಕೆಳಗಿನವುಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸಬೇಕು: Y: 10mm;
6. ಜೋಡಣೆ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯ ಎಡ ಮತ್ತು ಬಲ ಬೆಳಕಿನ ಕೊಳವೆಗಳು X, y ಮತ್ತು Z ದಿಕ್ಕುಗಳಲ್ಲಿ ಪ್ರತ್ಯೇಕವಾಗಿ ಚಲಿಸಬಹುದು, X ದಿಕ್ಕು: ± 5mm, Y ದಿಕ್ಕು: ± 5mm ಮತ್ತು Z ದಿಕ್ಕು: ± 5mm;
7. ಮುಖವಾಡದ ಗಾತ್ರ: 2.5 ಇಂಚುಗಳು, 3 ಇಂಚುಗಳು, 4 ಇಂಚುಗಳು, 5 ಇಂಚುಗಳು;
8. ಮಾದರಿ ಗಾತ್ರ: ತುಣುಕು, 2 ", 3", 4 ";
9. ★ ಮಾದರಿ ದಪ್ಪಕ್ಕೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ: 0.5-6mm, ಮತ್ತು ಗರಿಷ್ಠ 20mm ಮಾದರಿ ತುಣುಕುಗಳನ್ನು ಬೆಂಬಲಿಸಬಹುದು (ಕಸ್ಟಮೈಸ್ ಮಾಡಲಾಗಿದೆ);
10. ಎಕ್ಸ್‌ಪೋಸರ್ ಮೋಡ್: ಸಮಯ (ಕೌಂಟ್‌ಡೌನ್ ಮೋಡ್);
11. ಬೆಳಕಿನ ಏಕರೂಪತೆಯಿಲ್ಲದಿರುವುದು: ＜ 2.5%;
12. ಡ್ಯುಯಲ್ ಫೀಲ್ಡ್ CCD ಜೋಡಣೆ ಸೂಕ್ಷ್ಮದರ್ಶಕ: ಜೂಮ್ ಲೆನ್ಸ್ (1-5 ಬಾರಿ) + ಸೂಕ್ಷ್ಮದರ್ಶಕ ವಸ್ತುನಿಷ್ಠ ಮಸೂರ;
13. ಮಾದರಿಗೆ ಸಂಬಂಧಿಸಿದಂತೆ ಮುಖವಾಡದ ಚಲನೆಯ ಹೊಡೆತವು ಕನಿಷ್ಠ ಈ ಕೆಳಗಿನವುಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸಬೇಕು: X: 5mm; Y: 5mm; : 6º;
14. ★ ಒಡ್ಡುವಿಕೆ ಶಕ್ತಿ ಸಾಂದ್ರತೆ: > 30MW / cm2,
15. ★ ಜೋಡಣೆ ಸ್ಥಾನ ಮತ್ತು ಮಾನ್ಯತೆ ಸ್ಥಾನವು ಎರಡು ಕೇಂದ್ರಗಳಲ್ಲಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಎರಡು ಕೇಂದ್ರ ಸರ್ವೋ ಮೋಟಾರ್ ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತವಾಗಿ ಬದಲಾಗುತ್ತದೆ;
16. ಸಂಪರ್ಕ ಒತ್ತಡವನ್ನು ನೆಲಸಮಗೊಳಿಸುವುದರಿಂದ ಸಂವೇದಕದ ಮೂಲಕ ಪುನರಾವರ್ತನೀಯತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ;
17. ★ ಜೋಡಣೆ ಅಂತರ ಮತ್ತು ಮಾನ್ಯತೆ ಅಂತರವನ್ನು ಡಿಜಿಟಲ್ ಆಗಿ ಹೊಂದಿಸಬಹುದು;
18. ★ ಇದು ನ್ಯಾನೋ ಇಂಪ್ರಿಂಟ್ ಇಂಟರ್ಫೇಸ್ ಮತ್ತು ಸಾಮೀಪ್ಯ ಇಂಟರ್ಫೇಸ್ ಅನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ;
19. ★ ಟಚ್ ಸ್ಕ್ರೀನ್ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆ;
20. ಒಟ್ಟಾರೆ ಆಯಾಮ: ಸುಮಾರು 1400mm (ಉದ್ದ) 900mm (ಅಗಲ) 1500mm (ಎತ್ತರ).